元至元十五年（1278年）属泉州路。
明、清两代均属泉州府。
1913年改隶南路道。
1928年直隶福建省。
1934年归属第四行政督察区。
1949年8月23日惠安解放，同年归属第五行政督察专员公署。
1950年隶泉州专区。
1950年属晋江专区。
1971年归属晋江地区。
1986年归属泉州市。
1951年全县划为11个区。
1958年撤销区、乡政府，全县成立5个人民公社。
1984年撤销人民公社，恢复乡（镇）建制。
全县共辖2个镇、15个乡。
1985年省政府批准惠安县设立肖厝镇，以南埔、后龙、山腰3个乡及凃岭乡部分行政区域为肖厝镇的行政区域。
1990年从东园镇划出白奇、里春、莲埭、后海、下埭等5个村，设立百崎回族乡。
1992年肖厝镇人民政府正式挂牌办公。
1996年撤销肖厝镇建制，设立后龙、山腰、南埔、凃岭、埭港5个镇；从东岭析出18个村置东桥乡；同年省委、省政府批准成立泉州市肖厝经济开发管理委员会（简称肖厝管委会，管辖区域与原肖厝镇一样）。
1998年东桥乡改为东桥镇，1999年增设峰尾镇、紫山镇、界山镇，埭港镇更名为前黄镇，小岞乡改为小岞镇。
2000年划为山腰、前黄、南埔、界山、峰腰、凃岭等7个镇置泉港区。