河源，战国时期属楚，秦于龙川置县。
南朝齐永明元年（483），龙川析地置河源县，属南海郡。
南梁天监二年（503）属梁化郡，隋唐属循州，南汉乾亨元年（917）析循州分置祯州、循州，河源地区属循州。
宋天禧五年（1021）改祯州为惠州。
元属惠州路。
明洪武二年（1369）循州并入惠州。
清代，河源属惠州府。
1912-1920年属潮循道。
1947年分属广东第5、第7行政督察区。
1949年属东江专区。
1952年分属粤东和粤北行政区。
1956年改属惠阳专区。
1958年将和平并入连平，与龙川、河源划归韶关专区，紫金属汕头专区。
1962年恢复连平、和平两县。
1963年龙川、和平、连平、河源、紫金复归惠阳专区，1970年属惠阳地区。
1988年1月7日，国务院批准撤销河源县，设立地级河源市，沿用至今。