东晋时属欣乐、酉平县地，南朝宋时分属安怀、怀安县地，隋开皇九年（589）后称归善县，州、郡、路、府均设在县境内。
1912年后，废惠州府，将惠州府与归善县合并为惠阳县，先后属潮循道、第四行政督察区、第五行政督察区管辖。
抗战时期，分为路东县和惠东县，后自然消失。
1949年，分为惠阳、惠东两县。
1949年12月，惠阳、惠东合并为惠阳县，县署迁至淡水。
1950年4月，县署又迁回惠州城东。
1958年4月，划出惠州市（县级）和惠东县。
是年底，重新合回，并将龙岗、横岗、坪山、大鹏、葵沙、南平等乡划归宝安县。
1964年10月，划出惠州市（县级），1965年7月，划出12个公社为惠东县。
1975年5月，划出三栋公社归惠州市（今惠城区）管辖。
1990年3月，县城从惠州市区迁到淡水镇，1990年11月，划出澳头、霞涌两镇及淡水镇西面一小部分为大亚湾工业区，即今大亚湾经济开发区。
1994年5月6日，国家民政部批准惠阳撤县设市（县级），委托惠州市代管。
2003年3月6日，经国务院批准，惠阳撤市设区。