春秋为晋野王邑。
战国初为卫都。
秦属三川郡。
西汉高祖二年（前205）改野王邑为野王县，属河内郡。
新朝改野王县为平野县。
隋开皇初郡废，十六年（596）改野王县为河内县，属怀州。
大业初废州，复置河内郡，并置安昌县。
唐武德二年（619）复怀州，侨置济源之柏崖城，安昌县改名武德县。
北宋熙宁六年（1073）废武德县入河内县，属怀州河内郡。
金属南怀州。
元属怀孟路，后改为怀庆路。
明、清属怀庆府。
1913年废怀庆府，改河内县为沁阳县，属豫北道。
1914年属河北道。
1927年直属河南省。
1933年属河南省第四行政督察区。
1949年属平原省新乡专区。
1952年属河南省。
1960年温县并入。
1961年温县析出复置。
1969年属新乡地区。
1986年改属焦作市。
1989年撤县，设立县级沁阳市。