县域春秋战国时属齐国祝阿地，西汉隶平原郡祝阿县。
东汉，耿济镇正式成为政区名称，隶平原郡祝阿县。
三国至隋，仍祝阿地。
唐天宝元年（742）废祝阿为禹城，耿济镇属禹城县，隶齐州济南郡。
宋，始改耿济镇为济河镇，继称齐河镇，隶齐州济南府禹城县。
金天会八年（1130），升镇为县，正式成为县级政区。
元，隶德州；明、清隶济南府。
1912年起，先隶济南府，后直属山东省。
抗日战争全面爆发后，县境分北、中、南部共3个县级人民政权行政，北部先后称齐河县、齐济县、齐临县，初隶冀鲁边二专区，1944年隶渤海区泺北专区；中部先后称齐河县、齐禹县，1942年隶冀鲁豫区一专区，1949年隶泺北专区；南部先后称长清县、河西县、长清县、河西县，1942年隶冀鲁豫一专区，1949年隶泺北专区。
1950年5月，北、中部合并，称齐河县，隶德州专区。
1956年5月南部原河西县部分划入，隶聊城专区。
1961年复隶德州专区，1980年改称德州地区。
1990年县东部三乡镇划入济南市，成今境域，属德州地区。
1994年12月德州地区改称德州市，归属德州市管辖至今。