秦代分属武功县和鄠县。
汉武帝时（前140—前87）始设盩厔县，东汉永平八年（65）撤销，辖地并入武功县。
北魏平真君七年（446）复设盩厔县。
北周保定元年（561）又增设仓城、温汤2县，建德三年（574）废入盩厔。
唐武德二年（619）在东部设立终南县，贞观八年（634）撤销。
天宝元年（742）将盩厔县改名宜寿县，至德二年（757）恢复盩厔之名。
宋大观元年（1107）再设终南县，元至元元年（1264）撤销，辖地并入盩厔县，历时700余年。
1964年9月，改“盩厔”为周至。